你听说过“纳米级微振动”吗? 近日,全球首个纳米级微振动实验室在雄安新区正式投运,它能为光刻机、遥感卫星等“大国重器”提供地面“安检”。
这个实验室的核心装置是一台全球尺寸最大、精度最高的微振动实验台。实验台平面尺寸达到4米*4米,台体自重约50吨,设计承载能力高达20吨,能够满足大型半导体设备整机及卫星全尺寸载荷的上台测试需求。
让我们跟着记者的镜头,一起探访这个实验室,看它如何为精密制造业铺就一条更稳的路。
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